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期刊文章 脉冲激光沉积类金刚石薄膜的厚度均匀性建模
出处:西南科技大学学报 2007年第4期 14-19,共6页
摘要:在脉冲激光沉积类金刚石薄膜过程中,针对薄膜均匀性差的问题,提出偏轴沉积、脉冲激光扫描沉积、双光束沉... 显示全部
关键词: 激光脉冲沉积 激光扫描 类金钢石薄膜 建模
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