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期刊文章 原子力显微镜管式扫描器运动学建模与误差分析
出处:仪器仪表学报 2005年第9期 928-933,共6页
摘要:针对样本扫描模式原子力显微镜,对其管式扫描器-样本-探针系统进行了运动学分析,建立了该系统的运动学模型,... 显示全部
关键词: 样本扫描模式原子力显微镜 管式扫描器 运动学模型 扫描范围误差 交叉耦合误差
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