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期刊文章 类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗
出处:硅酸盐学报 2005年第11期 1314-1320,共7页
摘要:利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注... 显示全部
关键词: 类金刚石薄膜 电化学阻抗谱 模拟体液 等离子体源离子注入 等离子体增强化学气相沉积
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