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期刊文章 磁镜场在直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置中的应用
出处:真空与低温 2009年第2期 108-111,共4页
摘要:在自行设计的直接耦合石英管式微波等离子体化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜装置的... 显示全部
关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 磁镜场
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期刊文章 磁镜场在直接耦合式微波等离子体CVD金刚石膜装置中的应用
出处:纳米科技 2009年第2期 29-32,共4页
摘要:在自行设计出的直接耦合石英管式微波等离子体化学气相沉积fchemical Vapor Deposition,CVD)金刚石膜装置... 显示全部
关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 磁镜场
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期刊文章 磁镜场在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜制备装置中的应用
出处:真空电子技术 2009年第3期 40-43,共4页
摘要:在直接耦合式微波等离子体化学气相沉积金刚石膜装置的石英管反应腔加上磁镜场来更好地约束等离子体,使等... 显示全部
关键词: 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 磁镜场
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