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期刊文章 电子束蒸发沉积工艺条件对ZrO2薄膜性能的影响
出处:中国激光 2004年第11期1356-1360,共5页
摘要:在电子束蒸发沉积制备ZrO2薄膜的过程中,采用石英晶体振荡法监控膜厚和沉积速率。用NKD7000分光光度计测量... 显示全部
关键词: 薄膜 薄膜 工作气压 沉积速率 石英晶体振荡法
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