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期刊文章 添加元素对TiMeXN多元膜XPS谱的影响
出处:真空科学与技术学报 2004年第3期 208-212,215,共6页
摘要:采用XPS方法研究了TiMeXN多元膜内各元素的化学状态,结果表明,添加元素改变了TiN中Ti元素特征峰的位置和形... 显示全部
关键词: 多元膜 真空阴极电弧沉积 射线光电子能谱 高速钢
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