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期刊文章 纳米压印制作半导体激光器的分布反馈光栅
出处:微纳电子技术 2010年第1期 56-59,共4页
摘要:分布反馈(DFB)光栅的制作是半导体激光器芯片的关键工艺,通过纳米压印技术在InP基片表面涂覆的光刻胶上... 显示全部
关键词: 纳米压印 半导体激光器 分布反馈光栅 相移型光栅 干法刻蚀技术 湿法腐蚀
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