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期刊文章 纳米级润滑膜厚度测量研究
出处:仪器仪表学报 1995年第S1期148-152,共5页
摘要: 在超精密机械中,摩擦副(特别是点、线接触的摩擦副)常处于几个到几十纳米厚的薄膜润滑状态。由于测试技... 显示全部
关键词: 厚度测量 纳米级 相对光强原理 润滑膜厚度 薄膜润滑 分辨率 测量仪 光干涉法 基本原理 测试技术
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