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期刊文章 电容式角位移传感器三维电场有限元分析及仿真研究
出处:计算机仿真 2003年第12期 45-47,共3页
摘要:该文利用有限元法对电容式角位移传感器三维电场进行分析,仿真研究不同结构参数的敏感元件,所得结论与实验... 显示全部
关键词: 电容式角位移传感器 三维电场 有限元分析 仿真 敏感元件
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