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期刊文章 CHA晶体孔道内Se_8合成及光学表征(英文)
出处:深圳大学学报:理工版 2011年第6期 518-522,共5页
摘要:报道将硒物质引入硅掺杂的AlPO4-47晶体(SAPO-47,CHA)孔道中制备主客体纳米复合材料的方法及其光学表征.... 显示全部
关键词: 复合材料 拉曼光谱 菱沸石 偏振吸收谱 电子特性
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期刊文章 PECVD系统中Ar等离子体电子特性的研究
出处:安庆师范学院学报:自然科学版 2009年第3期 51-54,共4页
摘要:利用自行设计的可移动Langmuir探针装置对PECVD系统中Ar等离子体中的电子平均能量和电子浓度随各工艺条件的... 显示全部
关键词: 可移动探针 电子特性
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期刊文章 SiCl4/H2辉光放电等离子体中电子特性的在线检测
出处:功能材料 2007年第10期 1599-1602,共4页
摘要:SiCl4/H2混合气体被公认为低温沉积纳米晶以及多晶硅薄膜最具潜力的气源之一。首次利用加热可调谐Langmuir... 显示全部
关键词: 加热 探针 电子特性 沉积速率 等离子体
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