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期刊文章 a-SiCx:H/nc-Si:H多层薄膜的室温时间分辨光致可见发光
出处:发光学报 2004年第6期 696-700,共5页
摘要:在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中,通过控制进入反应室的气体种类逐层沉积非晶SiCx:H(a-SiCx:H)和... 显示全部
关键词: 多层薄膜 等离子体增强化学气相沉积 热退火
期刊文章 硼掺杂纳米硅薄膜的热退火效应研究
出处:韩山师范学院学报 2011年第6期 41-45,共5页
摘要:采用等离子体增强化学气相沉积技术制备了硼掺杂氢化非晶硅薄膜,然后经过不同温度的热退火处理,获得硼掺... 显示全部
关键词: 硼掺杂 纳米硅 热退火 光学带隙
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期刊文章 响应三甲胺气体低阻TiO2基气体传感器研制
出处:微纳电子技术 2003年第12期 28-31,共4页
摘要:二氧化钛是一种良好的响应三甲胺气体的敏感材料,然而用它做成传感器后存在一个明显的缺点:阻值太高.文中采... 显示全部
关键词: 二氧化钛 热退火 掺杂 三甲胺 气体传感器
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