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期刊文章 准分子激光引起的非晶硅薄膜晶化行为的研究
出处:真空 2009年第4期5-8,共4页
摘要:利用KrF准分子激光对非晶硅薄膜的表层进行了晶化。研究了激光能量密度和照射脉冲数对薄膜结晶度的影响,并... 显示全部
关键词: 准分子激光 非晶硅薄膜 激光能量密度 结晶度
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