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期刊文章 印刷电路板激光投影成像照明系统均匀性分析
出处:量子电子学报 2009年第3期 360-365,共6页
摘要:针对351nm波长的XeF准分子激光器,自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板(P... 显示全部
关键词: 激光技术 均束器 激光投影成像光刻 准分子激光 印刷电路板 加工窗
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