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期刊文章 PCB激光投影光刻照明系统的设计
出处:广东工业大学学报 2007年第2期 33-35,共3页
摘要:针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其... 显示全部
关键词: 印制电路板 激光投影光刻 照明系统
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期刊文章 折叠式激光投影光刻物镜的设计研究
出处:光电工程 2007年第9期 46-49,102,共5页
摘要:针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其... 显示全部
关键词: 印制电路板 激光投影光刻 投影物镜 光学设计
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