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期刊文章 薄膜厚度对钛酸钡类薄膜传感器敏感特性的影响
出处:电子元件与材料 2004年第10期 30-32,共3页
摘要:利用氩离子束溅射技术,分别在SiO2/Si衬底上淀积了0.5 μm、1μm和2μm的Ba1-xLaxNbyTi1-yO3薄膜,并探讨了... 显示全部
关键词: 电子技术 钛酸钡薄膜 湿敏 光敏 热敏 薄膜厚度
期刊文章 结构参数对Ba1-xLaxTiO3多功能传感器敏感特性的影响
出处:固体电子学研究与进展 2005年第1期 138-141,共4页
摘要:对三种二氧化硅层厚度(10 nm、25 nm、40 nm)的器件进行测试,研究二氧化硅层的厚度对Ba1-xLaxTiO3多功能传... 显示全部
关键词: 钛酸镧钡薄膜 湿敏 光敏
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