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期刊文章 硅基微通道板微孔结构形貌的实验研究
出处:激光与光电子学进展 2012年第5期 160-164,共5页
摘要:硅基微通道板(MCP)的重要技术挑战之一就是如何在硅基上制作高深宽比的微孔阵列结构。采用光助电化学刻蚀... 显示全部
关键词: 光学器件 微孔阵列 光助电化学刻蚀 空间电荷区 深宽比 探测器
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期刊文章 几何形状对注塑件微结构填充高度的影响
出处:塑料工业 2009年第12期 33-36,共4页
摘要:采用MoldFlow MPI6.1软件,以聚苯乙烯(PS)为原料,在成型工艺条件不变的情况下,研究几何形状(微结构... 显示全部
关键词: 微结构 微注塑 深宽比 填充高度
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期刊文章 亲/疏水性不同壁面组成微通道的深宽比与通道内液体的自发毛细流动
出处:光学精密工程 2010年第7期 1562-1567,共6页
摘要:研究了聚合物芯片上由亲/疏水性不同壁面组成的微通道内流体的流动行为。为了实现该类微通道内液体的自发毛... 显示全部
关键词: 聚合物芯片 微通道 深宽比 玻璃
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期刊文章 硅通孔润湿性能影响因素的模拟仿真
出处:复旦学报:自然科学版 2014年第2期192-197,共6页
摘要:使用Fluent流场仿真软件模拟了电镀液对硅通孔(TSV)的浸润过程,讨论了TSV深宽比、电镀液流速、电镀液表面... 显示全部
关键词: 硅通孔 流场仿真软件 预润湿 深宽比 流速 表面张力 接触角
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