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期刊文章 氮化铝基片的集群磁流变抛光加工
出处:金刚石与磨料磨具工程 2011年第5期 35-38,共4页
摘要:本文进行了氮化铝基片的集群磁流变抛光加工研究,分析了主要工艺参数的影响和加工表面形貌特征。实验结果表... 显示全部
关键词: 氮化铝基片 集群磁流变效应 抛光 表面粗糙度
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