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期刊文章 离子束溅射法制备碳氮薄膜及其结构表征
出处:高分子材料科学与工程 2008年第11期172-175,共4页
摘要:采用离子束溅射沉积技术,对不同氮离子束能量情况下制备的氮化碳薄膜,进行了拉曼(Raman)和红外光谱(FT... 显示全部
关键词: 氮化碳 离子束溅射 薄膜 晶体表征
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