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期刊文章 氩离子刻蚀还原氧化铜的XPS研究
出处:分析测试学报 2013年第5期535-540,共6页
摘要:利用X射线光电子能谱(XPS)及氩离子刻蚀技术,通过改变氩离子枪的刻蚀模式,原位研究氩离子刻蚀对氧化铜的... 显示全部
关键词: 氧化铜 氩离子刻蚀 射线光电子能谱 还原
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