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期刊文章 磁控溅射制备增透ITO薄膜及其性能研究
出处:光电工程 2005年第11期 20-24,共5页
摘要:用射频磁控溅射法在低温下制备了光电性能优良的ITO(In2O3: SnO2=1:1)薄膜.质量流量计调节氩气压强PAr为0.2... 显示全部
关键词: 磁控溅射 氧流量 薄膜 室温 增透
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期刊文章 磁控反应溅射TiO2薄膜的实验研究
出处:真空 2006年第4期13-15,共3页
摘要:应用直流和中频交流程序自动控制磁控溅射设备,利用金属Ti靶、纯Fe靶制备出了有一定厚度的质量较好的不同... 显示全部
关键词: 纳米二氧化钛薄膜 氧流量 亲水性 磁控溅射
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