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期刊文章 用等离子体辅助分子束外延生长氧化锌单晶薄膜
出处:发光学报 2004年第2期 147-150,共4页
摘要:利用等离子体辅助分子束外延(P-MBE)方法,通过优化生长条件,在c平面蓝宝石(Al2O3)上生长出氧化锌(ZnO)单晶... 显示全部
关键词: 氧化锌单晶薄膜 薄膜生长 分子束外延 等离子体辅助 蓝宝石衬底 反射式高能衍射仪 光电材料
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