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期刊文章 微波氢等离子体的特性
出处:物理实验 2011年第8期 1-3,13,共4页
摘要:在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽... 显示全部
关键词: 氢等离子体 微波放电 多普勒展宽 离子温度
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