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期刊文章 纳米晶硅薄膜中氢含量及键合模式的红外分析
出处:物理学报 2009年第4期2565-2571,共7页
摘要:采用传统射频等离子体化学气相沉积技术在100—350℃的衬底温度下高速沉积氢化硅薄膜.傅里叶变换红外光谱和... 显示全部
关键词: 氢化纳米晶硅薄膜 红外透射谱 氢含量 硅氢键合模式
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期刊文章 次氯酸钠生产工艺的安全设计
出处:氯碱工业 2007年第10期 7-9,共3页
摘要:从工业系统安全分析入手,设计了一种新型的连续法安全生产次氯酸钠工艺.该工艺的特征是通过文丘里的负压,不... 显示全部
关键词: 次氯酸钠 工业安全 氢含量
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