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期刊文章 椭偏光谱法研究激光脉冲沉积MgO薄膜材料生长
出处:中山大学学报:自然科学版 2003年第2期 18-22,共5页
摘要:用激光脉冲沉积技术生长、制备出了一系列不同真空度、不同衬底温度和不同激光脉冲能量的MgO薄膜.对生长、... 显示全部
关键词: 薄膜材料 激光脉冲沉积法 椭偏光谱法 光学常数 膜厚 薄膜生长 铁电薄膜
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