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期刊文章 梳齿式微机械加速度计静态模型的辨识
出处:中国惯性技术学报 2002年第5期 38-41,共4页
摘要:讨论了一种梳齿式微机械加速度计的静态模型.从加速度计的静态输入入手,求得加速度计平衡时的输出关系式,还... 显示全部
关键词: 梳齿式 微机械加速度计 电容传感器 静态模型辨识
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