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期刊文章 熔性/亚熔性激光退火工艺过程数值分析
出处:微电子学 2015年第1期125-129,135共6页
摘要:熔性/亚熔性激光退火在IGBT类电力电子器件制造中有着重要的作用。该工艺涉及瞬间、局部、高强度的能量馈入... 显示全部
关键词: 激光退火 热场分析 杂质再扩散
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