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期刊文章 基于AFM的机器人化纳米操作系统综述
出处:机械工程学报 2009年第6期 14-23,共10页
摘要:对基于扫描隧道显微镜(Scanning tunnel microscope,STM)及原子力显微镜(Atomicforcemicroscope,AFM)的... 显示全部
关键词: 纳米操作 原子力显微镜 机器人化 探针定位 信息反馈
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