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期刊文章 有源层厚度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响
出处:华南理工大学学报:自然科学版 2013年第9期23-27,94共6页
摘要:为优化氧化锌薄膜晶体管(ZnO-TFT)的工艺参数,采用射频磁控溅射法沉积ZnO薄膜制备出不同有源层厚度的ZnO-... 显示全部
关键词: 薄膜晶体管 氧化锌 有源层厚度 电学性能
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