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期刊文章 预对准机与机械手相对坐标系标定
出处:机械设计与制造 2013年第7期185-187,共3页
摘要:在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差... 显示全部
关键词: 晶圆预对准机 晶圆传输机器人 建模仿真 标定方法 相对坐标系 误差补偿
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