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期刊文章 数字光刻缩微投影系统物镜的设计
出处:光电工程 2013年第7期57-62,共6页
摘要:针对高精度数字光刻的缩微光学投影系统,提出并设计了一种适用于0.7XGA型数字微反射镜(DMD)的6片式数字光... 显示全部
关键词: 数字光刻 缩微物镜 数字微反射镜 光学设计
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