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期刊文章 集成微光机械振动传感器芯片制作工艺研究
出处:半导体光电 2006年第4期 409-411,共3页
摘要:介绍了一种新型集成微光机械振动传感器的工作原理和芯片制作工艺。以聚甲基丙烯酸甲酯为结构材料,采用旋... 显示全部
关键词: 振动传感器 聚甲基丙烯酸甲酯 旋涂 干法刻蚀 光波导 悬臂梁
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期刊文章 微光机械振动传感器的设计与制作
出处:微细加工技术 2006年第1期 61-64,共4页
摘要:采用旋涂和干法刻蚀技术,制作了一种新型有机集成微光机械振动传感器,其主要结构是由在硅基上制作的聚甲基... 显示全部
关键词: 振动传感器 聚甲基丙烯酸甲脂 悬臂梁 光波导 灵敏度
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