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期刊文章 刻蚀端面AlGaInAs/AlInAs激光器的制作与特性
出处:中国激光 2005年第8期1031-1034,共4页
摘要:利用Cl2/BCl3/CH4电感应耦合等离子体(ICP)干法刻蚀技术,实现了对AIGaInAs,InP材料的非选择性刻蚀.AlGaInAs... 显示全部
关键词: 激光技术 刻蚀端面激光器 感应耦合等离子体
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