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期刊文章 纵向驱动MEMS永磁双稳态机构
出处:纳米科技 2005年第4期 25-30,共6页
摘要:在MEMS继电器中引入双稳态机构可以有效地减少功耗。在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用... 显示全部
关键词: 永磁 双稳态 微继电器
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期刊文章 扭梁悬臂梁支撑的扭摆式MEMS永磁双稳态机构
出处:半导体学报 2006年第1期 143-149,共7页
摘要:在进行理论分析证实可行性和模拟仿真优化参数后,利用非硅表面微加工方法中的牺牲层工艺制备了一种扭梁悬... 显示全部
关键词: 永磁 双稳态 微继电器
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