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期刊文章 微纳定位/进给技术研究现状
出处:微纳电子技术 2003年第5期 40-44,共5页
摘要:微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术.它同时也是微纳科学技术走... 显示全部
关键词: 微纳定位 进给技术 微纳技术 微电子工程 蠕动原理 冲击驱动原理
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期刊文章 微纳定位/进给技术研究现状综述
出处:机械设计 2005年第9期 1-3,共3页
摘要:微纳定位/进给技术是微纳科学技术、微电子工程、航空航天等领域的关键基础技术.它同时也是微纳科学技术走... 显示全部
关键词: 微纳技术 微纳定位 进给 微纳位移发生 驱动器
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