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期刊文章 一种基于MEMS微硅多狭缝分光光度计
出处:光谱学与光谱分析 2009年第6期 1713-1716,共4页
摘要:研制出了一种采用后分光技术,微硅片多狭缝进行像元分割,硅光电二极管阵列为探测器的微型分光光度计。分析... 显示全部
关键词: 微硅狭缝 微型分光光度计 微光机电系统 光谱带宽
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