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期刊文章 基于MEMS技术的微型分光光度计
出处:光学精密工程 2006年第6期 990-997,共8页
摘要:研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高... 显示全部
关键词: 微硅片对准 微硅片狭缝 微型分光光度计 微小型光纤光谱仪 微光机电系统
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期刊文章 一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
出处:光学精密工程 2005年第6期 637-642,共6页
摘要:研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪.采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、... 显示全部
关键词: 微硅片狭缝 微小型光纤光谱仪 微光机电系统 分辨率 波长标定公式
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