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期刊文章 UFPA器件微桥腐蚀工艺的研究
出处:华中科技大学学报:自然科学版 2007年第2期 74-76,共3页
摘要:利用硅单晶的各向异性腐蚀技术,研究了UFPA探测器的微桥腐蚀工艺.采用独特的腐蚀装置在厚度为300μm的硅... 显示全部
关键词: 非制冷红外焦平面阵列 微桥 各向异性腐蚀 腐蚀装置
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