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期刊文章 旋转载体用硅微机械陀螺的敏感元件
出处:压电与声光 2006年第2期 170-172,共3页
摘要:介绍了旋转载体用硅微机械陀螺的敏感原理,计算了硅振动单元振动摆角和敏感电容的关系。介绍了旋转载体用... 显示全部
关键词: 微机械系统 陀螺 敏感元件
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