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期刊文章 微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应
出处:科学通报 2001年第5期436-440,共5页
摘要:微型机电系统(MEMS)是面向21世纪的关键技术, 微型机械的设计与制造在很大程度上取决于材料问题的解决. 影... 显示全部
关键词: 微机械 弹性模量 拉伸强度 尺寸效应 多晶硅薄膜 应变设计准则 微拉伸装置 微结构 尺寸约束
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期刊文章 旋转体自旋角速度不稳定对陀螺稳定性的影响
出处:中国惯性技术学报 2007年第5期 585-588,共4页
摘要:为了弄清旋转体自旋角速度不稳定对陀螺稳定性的影响,根据硅微机械陀螺的运动方程,分别给出对高阻尼陀螺和... 显示全部
关键词: 陀螺 微机械 角速度 稳定性
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期刊文章 利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺
出处:压电与声光 2005年第2期 109-117,共9页
摘要:提出了一种利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该... 显示全部
关键词: 旋转载体 微机械 陀螺 角速度
期刊文章 无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试
出处:仪表技术与传感器 2009年第B11期 16-24,共9页
摘要:提出了一种利用旋转载体自旋角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了... 显示全部
关键词: 旋转载体 微机械 陀螺 角速度
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期刊文章 微观摩擦与表面形貌相关性的试验研究
出处:中国机械工程 2005年第6期 542-545,共4页
摘要:针对微机电系统存在的问题,阐述了微摩擦的测试方法以及表面形貌对微机械中摩擦性能的影响,试验研究了表面... 显示全部
关键词: 微机械 微摩擦 表面形貌 弹性变形
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