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期刊文章 微结构和尺寸约束下多晶硅微机械构件拉伸强度的尺寸效应
出处:科学通报 2001年第5期436-440,共5页
摘要:微型机电系统(MEMS)是面向21世纪的关键技术, 微型机械的设计与制造在很大程度上取决于材料问题的解决. 影... 显示全部
关键词: 微机械 弹性模量 拉伸强度 尺寸效应 多晶硅薄膜 应变设计准则 微拉伸装置 微结构 尺寸约束
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