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期刊文章 双槽电化学腐蚀法制备介孔硅的热导率
出处:半导体学报 2007年第3期 420-424,共5页
摘要:提出了一个基于有效介质理论分析介孔硅层传热机理的理论模型,对影响介孔硅有效热导率的因素包括孔隙率、... 显示全部
关键词: 理论模型 介孔硅 微喇曼光谱 有效热导率 微传感器 微电子机械系统
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