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期刊文章 原子力显微镜形貌测量偏差的机理分析及修正方法
出处:力学学报 2011年第1期112-121,共10页
摘要:采用原子力显微镜测量样品表面形貌时,针尖与样品间的相互作用力会使样品表面不同力学性质的区域变形量不同... 显示全部
关键词: 形貌测量偏差 高频信号 结构设计 各阶本征频率相对值
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