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期刊文章 微机电系统(ME MS)的仿真和模型分析(英文)
出处:光学精密工程 2003年第1期
摘要:微机电系统 (MEMS)器件及系统仿真正日益受到MEMS研究者的重视。其仿真内容涉及力学、电子学、热学、光学、... 显示全部
关键词: 多域系统仿真 广义网络 优化 模型库
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