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期刊文章 基于Fluent的还原炉底盘温度场均匀化分析
出处:西北大学学报:自然科学版 2013年第6期903-908,共6页
摘要:针对24对棒的多晶硅还原炉底盘的温度场均匀化问题,结合大型多晶硅还原炉的研制要求,应用Ansys13.0中的F... 显示全部
关键词: 多晶硅还原炉 底盘 流体模拟 温度场
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