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期刊文章 微波氢等离子体的特性
出处:物理实验 2011年第8期 1-3,13,共4页
摘要:在MPCVD装置中,通过调节微波功率和反应腔压强,使用高分辨率多道光谱仪采集氢气的Hα线.由谱线的多普勒展宽... 显示全部
关键词: 氢等离子体 微波放电 多普勒展宽 离子温度
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期刊文章 光谱法测量等离子体离子温度和旋转速度
出处:光学学报 2003年第9期1115-1118,共4页
摘要:分析多普勒展宽和多普勒频移的区别,讨论了弦积分的线形分布和高斯分布的差异,利用光谱多道分析仪测量了碳2... 显示全部
关键词: 多普勒展宽 多普勒频移 弦积分 高斯拟合 等离子体 光谱测量 光谱法 测量 离子温度 旋转速度 加热
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