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期刊文章 a-SiCx:H/nc-Si:H多层薄膜的室温时间分辨光致可见发光
出处:发光学报 2004年第6期 696-700,共5页
摘要:在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中,通过控制进入反应室的气体种类逐层沉积非晶SiCx:H(a-SiCx:H)和... 显示全部
关键词: 多层薄膜 等离子体增强化学气相沉积 热退火
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