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期刊文章 基于二维精密电容微位移传感器的二维纳米定位系统
出处:纳米技术与精密工程 2005年第2期 137-141,共5页
摘要:设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台.该系统采用正交簧片式设计,有效地抑制了正交运动的耦合,同... 显示全部
关键词: 微位移传感器 纳米定位系统 二维 电容 精密 定位平台 外接圆半径 反馈控制 迟滞效应 压电陶瓷 定位精度 精确定位 引力实验 纳米级 非线性 高精度 设计 正交
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