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期刊文章 外差椭偏测量技术及其混频误差分析
出处:激光与红外 2005年第6期 438-440,共3页
摘要:结合激光外差干涉术和反射式椭偏测量技术,设计了一种抗干扰能力强,快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数... 显示全部
关键词: 椭偏测量术 外差干涉 薄膜 混频误差 评价因子
期刊文章 一种新型椭偏测量实验——塞曼激光外差椭偏仪
出处:物理通报 2005年第10期 33-34,共2页
摘要:分析了大学物理实验中传统的消光式椭偏仪实验存在的问题,提出以一种新型外差式椭偏测量系统取代.结合塞曼... 显示全部
关键词: 物理实验 椭偏仪 外差干涉 薄膜测量 激光外差干涉 测量实验 塞曼 大学物理实验 测量系统 自动化程度
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期刊文章 透射式外差椭偏测量及非线性误差分析
出处:测试技术学报 2005年第3期 245-248,共4页
摘要:结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了... 显示全部
关键词: 椭偏测量术 外差干涉 非线性误差 薄膜测量 声光调制器
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