聚类工具

0
帮助 本站公告
您现在所在的位置:网站首页 > 知识中心 > 检索结果
排序:
期刊文章 磁控溅射制备增透ITO薄膜及其性能研究
出处:光电工程 2005年第11期 20-24,共5页
摘要:用射频磁控溅射法在低温下制备了光电性能优良的ITO(In2O3: SnO2=1:1)薄膜.质量流量计调节氩气压强PAr为0.2... 显示全部
关键词: 磁控溅射 氧流量 薄膜 室温 增透
在线阅读 下载全文
找到1条结果
`