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期刊文章 离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响
出处:真空科学与技术学报 2008年第S1期,共4页
摘要:本文利用高真空离子束辅助沉积系统(IBAD),在室温下制备了ZrN、TiAlN和一系列ZrN/TiAlN纳米多层膜,利用XRD... 显示全部
关键词: 离子束辅助沉积 纳米多层膜 硬度 离子束流 基底温度
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期刊文章 直流反应磁控溅射法制备氮化钛薄膜
出处:中国材料科技与设备 2009年第3期 60-61,共2页
摘要:研究了采用直流反应磁控溅射法制备TiN薄膜的工艺条件。研究发现:在保持其它工艺参数不变的条件下,溅射的... 显示全部
关键词: 氮化钛薄膜 磁控溅射 基底温度 反射率
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